超大流量气体质量流量控制器/流量计

   LF2000-A 超大流量气体质量流量控制器/流量计是一款高精度、快速响应、高稳定性产品，本产品为热式气体质量流量流量控制器/流量计，利用气流流过毛细管，改变毛细管温度分布，造成上下游温差方法，从而测得气体的质量流量。其流量精度不受气体压力、环境温度影响，由于上下游温差总是实时反映气体瞬时流量，所以特别适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。

技术指标

满量程范围（N2） ： 300...3000Ln/min

量程比： 控制器 50:1   流量计：100:1

精度：   ±2.0%F.S

线性： ±0.5%F.S

重复性：±0.2%F.S

响应时间： 1S-4S

工作压差：0.3...0.7MPa

**耐压： 3MPa

工作环境温度： 5...45℃ ℃

泄漏率： 1 ×10 -8 Pa.m 3 /s

流量设定信号： 0...5VDC   4...20mA

流量输出信号： 0...5VDC   4...20mA

供电方式： 24VDC

密封材料： 丁腈橡胶 氟橡胶

接头尺寸： 12mm   1/2” 3/4” 法兰 其他

产品应用

真空镀膜设备

半导体工艺设备

化学与化工实验设备

食品科学与工程设备

能源与环境保护设备

各种分析仪器设备

表面处理

真空冶金及材料工艺

高校及科研院所实验室设备